株式会社ヤシマは、真空技術を通じ社会と環境への貢献を目指す企業です☆

電子ビーム真空蒸着装置

電子ビームにて成膜材料を加熱・蒸発させて基板に成膜します。高融点材料の成膜に最適です。
当社のがご提案致しますシステムは装置全体をシンプルに構成することです。それは---

• 視認しやすい事からシステム
  の理解・指導が容易
• 使いやすさの向上
• メンテナンスが容易
• コストを抑え、予算内でのより
  高機能な部品の使用が可能

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抵抗加熱式真空蒸着装置

ベーシックな真空蒸着装置です。
汎用性が高く、電子顕微鏡の試料コートから本格的なデバイスの開発まで幅広くお使い頂けます。
幅広く本格的にお使い頂けるよう当社が提案致しますシステムは---

• ターボ分子ポンプなどを使用し高/超高真空に
  対応したシステム
• 膜厚計を装備し、必要に応じて安定化電源を用いた
  詳細な制御が可能なシステム
• 既にお持ちの機器等を用いてコストを抑えた
  システム

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有機材真空蒸着装置

K-セルは当社独自開発でセル全体を均一に加熱します。
当社の標準的システムは---

• 清浄な真空下での成膜---超高真空+
  　　　　　　　　　　　　　ロードロックシステム
• グローブボックスを接続---成膜後の基板取扱い時
  　　　　　　　　　　　　大気に触れることなく
  　　　　　　　　　　　　不活性ガス雰囲気で。

簡易型抵抗加熱式真空蒸着装置

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